研究設備 ※写真をクリックすると大きな写真をご覧いただけます。

プロセス装置

蒸着装置
電極・半導体層の成膜
スパッタ装置
スパッタリングによる
各種材料の成膜
露光装置 [共通設備]
パターンの形成
プラズマ表面処理装置
表面処理・ドライエッチング
パリレン成膜装置
有機絶縁膜・封止膜の成膜
光焼成装置
塗布型電極の光焼成
ラミネーター
フィルムの貼り合わせ
レーザー薄膜加工
レーザーによる薄膜加工
スクリーン印刷機
スクリーン印刷装置
インクジェット装置
塗布材料のパターニング
超高精細インクジェット装置
微細塗布電極の形成
曲面印刷用グラビアオフセット印刷機
任意の曲面に対するパターンの印刷

測定・評価装置

レーザー顕微鏡
表面・断面形状の観察
抵抗率測定装置
電極の抵抗値評価解析
プローバ
電気的特性測定用探針
原子間力顕微鏡
表面状態観察
測長顕微鏡
CNC画像測定システムに
よる、高精度の2次元測定
光電子分光装置
仕事関数・
イオン化ポテンシャルの測定
段差測定装置
膜厚測定
マイクロスクラッチ試験機
1μm以下の薄膜サンプル
基板への密着性測定

合成関係設備

合成用ドラフト
局所排気装置
昇華精製装置
固体材料の高純度精製
FT-IR (Fourier Transform- Infrared Spectroscopy)
IRスペクトルの測定
GPC (Gel Permeation Chromatography)
高分子物質の分子量分布
および平均分子量分布、
回転半径の測定
SDT (Simultaneous DSC-TGA)
分解温度の測定、熱量
変化による質量変化の測定
DSC (Different Scanning Calorimetry)
融点やガラス転移点の
高感度・高精度での測定
UV-Vis NIR Spectroscopy
紫外可視近赤外
スペクトルの測定
Electrochemical Analyzer
サイクリックボルタンメトリー
(CV)などの電気化学計測

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